2012年10月17日，半导体产业光刻系统巨头阿斯麦控股（ASML）与光刻光源主供应商西盟半导体（CYMER）联合宣布：通过由阿斯麦通过股票加现金方式收购西盟半导体价值19.5亿欧元的所有流通股。
收购西盟半导体的目的是为了加速极紫外光（EUV）半导体光刻技术的发展。EUV技术对半导体产业技术按照摩尔定律进步到下一个世代至关重要，可以以更低的资本支出生产出具有更多功能的高性能芯片。
此前阿斯麦和西盟已经紧密合作一年多，此次的合并是在开发EUV技术的合作基础上自然产生的。结合西盟在EUV光源上的专业和阿斯麦在光刻系统开发整合上面的优势，可以加速极紫外光刻这一非常复杂技术的生产引入并降低风险。