电装、丰田中央研究所、昭和电工在于东京有明国际会展中心举行的“nano tech 2013”(第12届国际纳米技术综合展)上,展出了共同开发的口径为6英寸的SiC基板。该基板的特点在于位错(缺陷)密度为数千个/cm2,“比市售SiC基板低一位数”(电装解说员)。这三家公司的目标是,在2014年度内,“先开发完成可供家电等领域实际使用的6英寸基板”(电装解说员)。
展出的6英寸基板使用的是在没形成外延膜的裸晶圆上使母材晶体(种晶)生长的“RAF生长法”。RAF生长法是电装和丰田中央研究所于2004年共同开发出的SiC结晶生长技术,通过沿位错和平行方向切割晶体、使晶体再生长来减少位错。展品的数千个/cm2的位错密度“如果用于SiC-SBD(肖特基势垒二极管),是能够以高成品率来制造的水平”(电装解说员)。今后将以应用于SiC-MOSFET等为目标,进一步减少位错缺陷。
目前市售SiC基板的价格方面,4英寸产品为20万~50万日元左右,最近开始样品供货的6英寸产品的价格估计将远高于这一水平。电装等三家公司今后将提高晶体生长速度、改进晶圆的切割方法,以确立能够低成本量产6英寸产品的技术。
电装解说员称, 近几年,铁路及空调等领域开始采用SiC器件,因此“汽车业对SiC的看法有所改变,采用的可能性不断加大”。估计最快在2015年就会出现配备SiC器件的技术测评用成车。解说员还表示,SiC器件要想广泛应用到发动机控制部分等,“我个人估计是在2019~2020年”。(记者:大下淳一,《日经电子》)