台湾半导体产业自主性发起产业大同盟，以抗衡三星所大力扶持周星(Jusung)、Wonik、Eugene等在地设备商。业者表示，晶圆厂垂直整合重点设备商，避免技术外流，已成为时势所趋。
国内科技业过去在高端制程设备高度仰赖国际设备大厂，在提供台湾厂商设备与改良时，也将台湾的宝贵制程技术内化到所供应的设备之中，这产生日后可能将台湾量产技术泄露给对手的风险。国内半导体厂要保持制程领先，应先构筑对追随者切入的城墙，政府也有必要对台湾在地设备商提供更多的支持。
政府已着手辅导半导体设备自主化发展，并列为国家型计画支持的重点项目，其目的是要辅助真正能着力于设计、组装与服务的设备公司，只有掌握设备设计开发的能力才能达到真正的台湾设备自制率提升。
研制太阳能与IC、面板产业所需设备应以制程为客制化设备开发的导向，这是确保量产优势最重要的一环。设备的性能与产能关乎产品品质与生产成本，其中又以物理/化学气相沉积设备(PVD/CVD；Physical/ChemicalVaporDeposition)是最具关键性，是生产精密元件的基础制程设备。
精曜科技投入各种镀膜设备与自动化量产系统平台的开发及推展，目前产品已获得产业龙头的认可与采用，为国内仅见。其研发设计与工厂设于竹科，60多位专业人员埋首于设备的开发，建立“以制程为自主设计设备之导向，整合委外的精密机加工链，再进行组装、测试、品质检验与售后服务”的特有经营模式，已突破数十套CVD设备销售，另外在大陆苏州设有设备展示中心，供全球客户做试样与验证，已进入成长的阶段。
异质接面(HJT)太阳能电池是首个被美国能源部认可，率先获得美国电池工厂所采用的项目。精曜科技的PECVD设备在HJT的制程中，已能成功执行8奈米(nm)厚的膜层镀膜，并达到最均匀的膜层厚度，超越客户的需求规格，具体展现精曜有能力持续发展如原子层镀膜设备与蚀刻等新应用。
该公司初期投入非晶微晶矽薄膜太阳能产业所需的关键PECVD设备，当时转换效率已达12%，建立了优良镀膜的能力与名声，精曜CVD设备亦可应用于铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池与N型单晶高效率异质接面(HJT)太阳电池等的镀膜制程，展现优越的特性，因此开启多元化的发展契机，现与台湾二大电池工厂长期密切合作，触角也延伸至国外。
近年太阳能产业已朝向与市电平价(GridParity)的目标发展，产业逐渐脱离对政府补助的依赖，自由化的市场将促进成长的爆发性。精曜科技行销处长陈厚模指出“制程差异化、成本降低、效率可持续提高的HJT产品”为未来业者胜出太阳能市场的关键点。有鉴于高效率太阳能发电制造设备极具潜力，工业局的“精密机械工业发展推动计画”，对半导体设备的“高效率太阳能发电之制造设备”，明确指出为潜在发展产品项目之一。
世界太阳能发展趋势已朝向以屋顶发电为主，美国SolarCity并购新兴的赛昂(Silevo)异质接面电池工厂之后，已筹划大手笔建构产能高达1GW的异质接面电池工厂，精曜做为高端镀膜设备的领头羊，打进国际大厂供应链，在SolarCity一案，精曜扮演了重要的角色。
SolarCity预估到2018年时，异质接面电池的量产光电转换效率将达25%，模组生产成本(CoO)将低于40￠/瓦，均化发电成本(LCOE)则将降到3￠/度。另一方面，部份业者也高度关注背接式(IBC)高效电池的发展，友达(AUO)之前已投入与美商Sunpower合作在马来西亚共建IBC电池工厂，但在2014年的PVTaiwan展会中却展示出323W的高效异质接面模组，效率已达20%，回推其异质接面电池效率应已超越21.5%，代表国内电池业者已有企图发展异质接面电池的量产。
台湾具有强大的半导体中游产业链，但需要加强上游的自主设备产业区块，毕竟，设备是工业之母，设备自主是国家竞争力的重要泉源。