台积电公司领导林本坚近日表示，公司规划的28纳米制程最快可望在今年第4季度小批量生产，并预估产量将在明年扩大。
林本坚表示，28纳米制程采用多重曝影(multipatterning)的浸润式(immersion)微影技术，并且公司正在进行20纳米技术的研发，未来14纳米将尝试导入极紫外光(EUV)或多重电子束(MEB)等新技术，台积电目前已加入Sematech，针对20纳米以下半导体制程的相关技术进行合作研发。
事实上，台积电董事长张忠谋早先就曾透露，台积电正紧密观察移动终端的市场变化，如今智能手机、平板电脑等产品逐渐向轻薄、低耗能发展已是明显趋势，公司在进军市场与持续稳健成长上皆需要仰仗28纳米制程。